项目简介

       扫描电子显微镜（SEM）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。此外，扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合，可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。

       常见项目

       场发射扫描电镜（SEM）、场发射扫描电镜（SEM）-现场测试/远程视频

       环境扫描电镜SEM：可以测试含水样品；也可以做需要变温或者加气氛的SEM测试。

       结果展示

       

       常见问题

       1. SEM粉末样品制样时，基底如何选择？

       分散性比较好的样品直接分散在导电胶上测试即可；

       如果样品容易团聚，最好通过溶剂超声分散滴膜测试，基底的选择通常有硅片、铜片，铜片相比硅片，导电性更好；如果需要测试能谱，注意基底的选择不能干扰样品信息，如关注铜元素，最好选择硅片作为基底；

       2. SEM测试中，样品喷金/碳的作用？如何选择喷金还是喷碳？

       用扫描电镜观察时，当入射电子束打到样品上，会在样品表面产生电荷的积累，形成充电和放电效应，影响对形貌图的观察和拍照记录。因此在观察之前要进行导电处理，喷金或喷碳，使样品表面导电；

       一般拍形貌，喷金（Au、Pt）清晰度更好，Au颗粒是5nm左右，Pt是2nm左右，理论上Pt尺寸小，对形貌的影响更小，更合适一些；但是由于Au和 Pt的峰可能会对其他元素的能谱有影响，而碳的结合能比较低，基本无影响，如存在与Au和Pt峰重叠的元素存在，这时喷碳更合适，测试时可针对样品成分区别进行选择；​​​​​​​       

​​​​​​​       3. SEM拍样品截面需注意哪些？如何制样？

​​​​​​​       对于脆性薄片如硅片、玻璃镀膜片等可直接掰断或敲断；

​​​​​​​       对于高分子聚合物，有一定塑性和韧性，该法则不可取，

​​​​​​​       方法1：冲击断裂，该法得到断面粗糙度比较大；

​​​​​​​       方法2：液氮脆断，将样品在液氮下脆化处理后瞬间折断，可得到较为光滑平整的断面；

​​​​​​​       方法3：离子切割，利用离子束抛光仪，通过离子束轰击样品截面，去除墨痕、碎屑和加工应变层；

​​​​​​​       方法4：冷冻超薄切片，超薄切片得到的样品，更接近样品固有状态结构，适用于韧性很强且硬度很大的样品，如聚丙烯材料；

​​​​​​​       4. 为什么画框点扫的含量和XRF测试的有差距？

​​​​​​​       采样深度不同，XPS采样深度为2-5nm，EDS采样深度大约1um。
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​​​​​​​       5. 二次电子模式和背散射模式拍出来的效果有什么区别？

​​​​​​​       二次电子产额对原子序数不敏感，分辨率较高；背散射重原子含量越高，背散射电子产额越大，图像越亮，分辨率较低。

​​​​​​​       6. 能谱测试的检测限是多少？

​​​​​​​       0.1w%，有时候小于0.1w%也可能会检测出来，但是结果偏差较大。

​​​​​​​       7. 二次电子模式和背散射模式拍出来的效果有什么区别？

​​​​​​​       二次电子产额对原子序数不敏感，分辨率较高；背散射重原子含量越高，背散射电子产额越大，图像越亮，分辨率较低。

​​​​​​​       8. 能谱测试的检测限是多少？

​​​​​​​       0.1w%，有时候小于0.1w%也可能会检测出来，但是结果偏差较大。

​​​​​​​       9. 云现场测试时长问题

​​​​​​​       云现场计时从进样开始计时直到测试结束，以实际测试时长为准，多退少补。为避免耽误测试周期，需根据样品数量请预约较吻合的时长（一般一个样品形貌测试10-15分钟，能谱5-10分钟）。

​​​​​​​       10. 云现场测试过程注意事项

​​​​​​​       屏幕共享设备展示与现场测试基本误差，若在测试过程中对对比度、亮度、清晰度有要求需要调整需及时与测试老师及时反馈并调整；mapping测试和线扫测试对颜色有要求的及时告知测试老师；能谱需要原始数据的请在测试时告知测试老师。

​​​​​​​       11. 云现场喷金问题

​​​​​​​       根据样品导电性以及元素干扰情况，请选择合适的镀膜种类（可提供喷碳/金/铂）；根据样品数量选择合适的喷金炉数（粉末样品一次可进样10-15个样品，符合常规尺寸的块体样品一次可进样6-8个样）。