项目简介

       主要对试样微区的化学组成进行定性或定量分析；可以进行点、线扫描（得到成分分布信息）、面扫描（得到成分面分布图像）；测试元素Be~U。相对EDS，检测限更低，有标测试，对于轻元素、微量元素测试精度更高。

       常见项目

       电子探针（EPMA）、电子探针EPMA-远程视频

       结果展示

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       常见问题

       1. EPMA成分分析属于能谱还是波谱？
       EPMA中成分分析是波谱；

       2. EPMA在形貌和成分分析上，与SEM有哪些区别？
       电子探针(EPMA)具有显微形貌观察和成分分析的功能，与SEM+EDS相比，电子探针更侧重成分分析。电子探针因出色的微区元素分析能力，特别是对于轻元素如C、N、O以及过渡金属元素的分析，被广泛应用于材料质量解析、失效分析及热处理工艺等研究。

       3. EPMA中线扫、mapping是如何进行定量的？
       一般来说，需要选定几个点进行点扫标定，根据标定结果，确定线扫、mapping区域的元素含量。