项目简介

　　电子背散射衍射，简称EBSD，主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射。EBSD是可以做快速而准确的晶体取向测量的强有力的分析工具。主要应用是取向和取向差异的测量、微织构分析、相鉴定、应变和真实晶粒尺寸的测量。

　　常见项目

　　电子背散射衍射（EBSD）、电子背散射衍射（EBSD）-远程视频

　　结果展示

　　可输出形貌图像、参数设置及解析率、相分布图、BC图、欧拉图和IPF图，也可增加Schmid因子图、再结晶图、GOS图、KAM图、ODF图、晶粒统计等。

　　例如：IPF图
　　

　　常见问题

　　1. EBSD对于样品的要求是什么？
　　样品要求：EBSD样品要求较高，要求样品测试表面光滑平整且无残余应力，样品应具有合适的尺寸（长宽高<10*10*5mm）和良好的导电性。

　　2. 不导电的样品应该如何处理？
　　一般选择喷碳处理，喷金会减弱背散射衍射信号。

　　3. EBSD有哪些制样方法？
　　常见的制样方法主要有机械抛光、电解抛光、离子减薄等。
　　其中机械抛光的适用范围广、抛光效率高，但样品表面容易产生应力及机械损伤；电解抛光需要根据不同的材料选择不同的抛光液，且抛光参数需要经过大量实验摸索，一般只适用于导电性好的材料。部分多相合金由于不同相电解速率不同，并不适合电解抛光；离子减薄一般使用惰性气体高能离子束对样品表面轰击，从而得到较为平整的微观表面，该方法适用大多数材料，且抛光效果较好。

　　4. 不同的样品应该采用什么样的制样方法？
　　陶瓷类样品一般采用机械抛光或者氩离子抛光；
　　金属类样品一般采用机械抛光加电解抛光或者机械抛光加氩离子抛光。

　　5. 测试前需要确认的信息有哪些？
　　测试前需要确认的重要信息：空间群、晶胞参数、原子占位、晶体结构以及物相信息、样品是否导电以及测试面。

　　6. 噪声黑点产生的原因有哪些？
　　可能是由于在制备样品时，电解抛光后样品有一些肉眼看不到的污染，如氧化物之类的。

　　7. EBSD能标晶体取向吗？
　　可以，此外还可以表征晶粒结构，晶粒尺寸和晶界。

　　8. Ar离子刻蚀测试样品要求是什么？
　　固体样品，样品直径小于30mm，厚度小于10mm。