项目简介

       主要测试三维形貌，进行粗糙度、深度、体积的测量。
 
       结果展示

       

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​​​​​​​       常见问题
 
​​​​​​​       1. 白光干涉仪的测试原理是什么？

​​​​​​​       白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。